温度计能测温度
体重秤能测体重
这背后施展要害作用的就是
传感器
传感器就像是888集团电子游戏装备的“眼睛”和“耳朵”
能感知种种信息
好比温度、压力、光线等等
然后把这些信息酿成电信号
让装备“看懂”“听懂”
“小物件”唤起“大能量”
今天就来聊聊
MEMS 压力传感器
“小巧玲珑”的它
是传感器家族里的一员
由于体积很小
可以集成在种种小小的装备里
专门认真丈量压力
而基于Cavity-SOI 原理的
压阻式绝压压力传感器
是MEMS压力传感器中的一种特殊类型
依附奇异的手艺原理和结构
它实现了更精准的绝对压力丈量
好比您给轮胎打气时
想知道轮胎内部的压力究竟够不敷
或在工厂要确保管道中的液体压力处于清静规模
就得靠它来资助丈量压力
它的事情原理是接纳了一种巧妙的“压阻式”要领
可以把它想象成一个很敏感的小弹簧
当有压力作用在上面时
它就会被压缩或拉伸
从而改变内部的电阻
而通过检测这个电阻的转变
就能准确地知道压力的巨细
Cavity-SOI手艺是通过在SOI晶圆上
制造一个关闭的空腔来实现绝压丈量
这就像是给这个传感器加上了一层超等防护
让它丈量压力的时间更精准、更稳固
就好比给运发动穿上了合脚的跑鞋
能辅助他们跑得更快、施展更稳固
在一样平常中，尚有哪些场景与它相关？
在汽车领域，它是引擎治理系统、制动系统和天气控制系统的好帮手；在工业领域，它常用于液压系统、气动系统和历程控制系统，提供实时压力数据，资助控制系统实时调解和维护；在医疗方面，它被用于呼吸机、血压监测仪和其他医疗装备；在消耗888集团电子游戏领域，诸如智能手机、智能手表等产品中也有它的身影。
中国电科58所打造的150kPa和700kPa两款MEMS压阻式绝压压力传感器，具有高精度、高可靠、低功耗、稳固性强、抗滋扰能力强、尺寸微型化等突出特点。
其中，150kPa的传感器常用于优化燃油喷射和燃烧时机，提升汽车的燃油效率和动力性能。在医疗领域，也能精准监测呼吸机中的气道压力，为患者的呼吸治疗提供可靠包管。在智能手机中，其气压计功效可资助实现海拔高度丈量和准确的天气预告。700kPa的传感器是涡轮增压引擎的得力同伴，能够准确丈量引擎压力，确保发念头在高负载下的清静运行。在医疗方面，关于像体外循环装备这类需要更高压力监测的装备，它能够提供精准数据，包管医疗操作的顺遂举行。
现在，58所正在举行绝压产品压实力程系列化拓展，向着100kPa~2000kPa绝压压实力程产品全笼罩及量产化的目的前进。一直致力于手艺立异和产品优化，为千行百业提供更多高性能、高可靠性的MEMS传感器产品。
